本书体系严密，深入浅出，将基本概念、工艺技术、典型器件和系统应用相结合，使读者能够全面地理解和掌握微纳制造与微机电系统相关知识。全书共8章，第1章概述MEMS的定义、特点、制造技术、发展历程与未来发展趋势；第2、3章分别介绍体硅和表面微加工技术的原理、流程、常见问题与解决方法；第4章阐述近年来体硅和表面硅工艺在MEMS

机械工业出版社本书是全国高等教育自学考试指导委员会组编教材，是为适应自学考试机械电子工程（专升本）、机电一体化技术（专科）等专业的学生学习“机械工程控制基础”课程而修订和编写的。本次修编主要基于2012年版本，理论体系上仍然只保留了经典控制理论的内容，在阐明经典控制理论的基本概念、基本理论和基本方法的基础上，对全书内容

本书在总结分布式复杂机电系统的特征和当前存在的问题的基础上，在系统建模、系统安全资源优化配置和故障溯源3方面对若干关键技术进行了研究，主要包括面向对象的有向无环图建模研究、有向无环图模型节点粒度的变换研究、分布式复杂机电系统安全资源优化配置研究、基于贝叶斯网络的分布式复杂机电系统故障溯源和网络模型自动生成算法。本书既具

"本书重点介绍现代控制理论。以线性定常连续系统作为研究对象，介绍系统与状态空间模型（第二章）、控制系统状态空间模型的解（第三章）、稳定性与李雅普诺夫方法（第四章），线性定常连续系统的能控性和能观性（第五章）、状态反馈与状态观测器（第六章）以及线性系统的实现（第七章），此外还补充了必要的数字控制基础知识（第八章），并以无

本书主要介绍如何应用先进的建模与控制方法来实现机电系统的动力学建模、分析与控制。全书共分为7章，前2章介绍建模与控制的理论知识，后5章介绍工程案例应用。第1章对机电系统动力学的建模与分析方法进行介绍；第2章介绍先进的运动控制与振动控制方法；第3章介绍塔式起重机吊挂运载应用，控制目标是使塔式起重机高速运载下保持吊挂负载振

本书共分9章，第1章为机电一体化概述；第2章为机电一体化系统数学建模；第3章为机电一体化系统自动控制技术；第4章为机电一体化系统检测技术；第5章为机电一体化驱动系统；第6章为机电一体化系统计算机控制技术；第7章为机电一体化系统通信技术；第8章为机电一体化系统抗干扰技术；第9章为机电一体化系统工程实例。

书中详细阐述了嵌入式系统的设计、开发方法，从最初的概念(机械和电气)到建模和仿真(数学关系)，再到创建图形用户界面(软件)及其实际执行(机电一体化系统测试)，从而实现对机器人航行器的控制，为使用标准PC硬件的实时系统的原型开发、仿真、测试和设计提出新的解决方案。

机电设备控制技术 董建荣 李彩风

本书从虚拟调试的基本概念出发，通过实际案例，深入浅出地介绍了NX-MCD与虚拟PLC、虚拟数控系统和虚拟机器人控制器之间的联合虚拟调试。主要内容包括：数字化虚拟调试仿真、数字样机建模、单机设备虚拟调试仿真，新能源动力电池的激光清洗设备、涂胶装配、产线虚拟调试，以及数字镜影技术与数字孪生技术等。本书适合制造型企业、智能制

本书为工业和信息化部“十四五”规划教材，“十二五”普通高等教育本科国家级规划教材。本书从“系统”的角度，对组成产品机械系统的元、部件和微机控制系统的元(器)件的工作原理、特点、选用原则与方法进行了论述，对静态、动态特性进行了简要分析，并从机电一体化的角度对系统的稳态设计与动态设计方法作了较详细的介绍，并列举了设计实例。