《真空技术（光电科学与工程专业规划教材）》共分7章，介绍了气体分子在空间的行为、固体-气体界面现象等真空物理基本理论，以及真空的获得、真空的总压强测量、分压强测量、真空检漏和真空系统设计等真空技术内容。《真空技术/光电科学与工程专业规划教材》可作为大专院校相关专业的教材及参考书，也可供从事真空技术研究、应用的工程技术人

全书分8章：真空材料的表面净化处理、真空材料的除气、真空系统的检测技术、真空系统的操作与维护等。