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本书体系严密，深入浅出，将基本概念、工艺技术、典型器件和系统应用相结合，使读者能够全面地理解和掌握微纳制造与微机电系统相关知识。全书共8章，第1章概述MEMS的定义、特点、制造技术、发展历程与未来发展趋势；第2、3章分别介绍体硅和表面微加工技术的原理、流程、常见问题与解决方法；第4章阐述近年来体硅和表面硅工艺在MEMS

本书从虚拟调试的基本概念出发，通过实际案例，深入浅出地介绍了NX-MCD与虚拟PLC、虚拟数控系统和虚拟机器人控制器之间的联合虚拟调试。主要内容包括：数字化虚拟调试仿真、数字样机建模、单机设备虚拟调试仿真，新能源动力电池的激光清洗设备、涂胶装配、产线虚拟调试，以及数字镜影技术与数字孪生技术等。本书适合制造型企业、智能制

本书内容全面，重点突出，分析透彻，理论联系实际，可帮助学生厘清思路、掌握重点、突破难点，从而提高分析和解决实际工程控制问题的能力。

本书讲述了控制理论的基本原理及其在机械工程自动控制系统中的应用。全书共11章：第1～8章为经典控制理论部分，主要介绍了自动控制的基本概念、控制系统在时域和频域中数学模型的建立，分析了单输入单输出、线性、时不变系统的稳定性和稳态误差，阐述了线性控制系统的时域分析法、频域分析法、根轨迹法及设计校正方法，每章均有工程实例分析

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本书以ADAMS软件为平台，以基本操作为基础，以设计实例为主线，系统介绍ADAMS在设计与分析中的应用。全书分为两篇，基础篇在介绍多体系统动力学基础知识、ADAMS2020功能的基础上，详细讲解ADAMS的创建载荷、求解与后处理、多刚体系统建模与仿真、刚柔耦合系统建模与仿真、多柔体系统建模与仿真、机电系统联合仿真和AD

本书是在遵循课程教学改革“高阶性、创新性、挑战度”的要求，考虑加强学生综合设计能力培养，倡导“理实一体、知行合一”的教学理念基础上编写的。全书分为上下两篇，第1篇主要介绍常用基础知识和设计技术，包括8章内容，涵盖从机构和结构的设计分析技术、机械制造工艺规程到电气控制系统设计的复杂机电系统设计全过程中涉及的相关知识，从设

本书以机电一体化系统的组成为主线，系统介绍了机电一体化系统各主要组成部分及其控制技术和控制策略，并通过实例详细介绍了机电一体化系统的设计方法。本书在机械系统部件、执行器、运动传感器选择方面有别于现有机电一体化书籍，如RV减速器、滚动导轨、自动化流水线机构、直线电机、行程和接近开关等都是较新的内容。本书还着重采用三菱PL

本书以典型和热门的机电控制系统为研究对象，包括倒立摆、并联运动平台、轮足式机器人等，围绕设计过程中的系统分析、控制实现和性能优化问题，详细介绍了该类机电控制系统的综合建模与仿真技术。本教材从机电控制系统基本组成和工作原理的概念出发，介绍了建模与仿真的基本理论，详细介绍了针对机电控制系统当下最流行的建模与仿真软件：MAT

随着MEMS技术的不断成熟和全面走向应用，MEMS芯片的量产问题变得越来越重要。显然MEMS芯片的量产必须在集成电路生产线上进行，但是MEMS芯片制造与集成电路制造相比有明显不同，这使得集成电路生产线在转型制造MEMS芯片时会遇到一些特殊的工艺问题。本书主要围绕如何利用集成电路平面工艺制造三维微机械结构，进而实现硅基M

本书以“新工科建设”需求为导向，设置教材内容，围绕Matlab/Simulink在控制系统中的应用、机电控制系统的建模与性能分析、控制算法的计算机辅助设计与分析等内容进行编写，从基本的软件工具的使用，建模与控制方法的分析与应用，再到实际案例的讲解与实践，内容全面，重点突出。其中，前三章主要是对以MATLAB为主的仿真工

本教材针对德国机电一体化专业双元制职业教育特点，以任务引领的方式，采用行动领域教学的特点，通过任务单的方式展开教学内容，注重学生的理论知识和实际操作相结合，在实际操作中遵循传统的认知规律，由浅入深，逐渐介绍相关的知识点和技能点。本书从传感器的使用、PLC的基本理论、驱动技术、电气控制技术，逐渐过渡到面向对象的小型机电一

本书是根据工程教育认证理念，遵循培养学生应用实践能力，根据作者多年的教学经验及近几年来教学改革成果编写而成的。 本书在内容上注意突出应用型特色，并兼顾机械行业发展的趋势。全书共8章，主要内容有：材料力学实验、机械原理实验、机械设计实验、互换性与技术测量实验、工程材料与成型技术实验、机械制造技术基础实验、液压与流体传动

机电系统的设计过程，已经成为一个由多学科领域共同参与和开发的流程。尽管目前主流的机电系统集成设计方法已经针对机电系统的多领域集成设计展开了研究，但是集成设计过程中多领域设计人员协作和交互、多领域数据管理和集成等问题，已经成为目前机电系统集成设计亟待解决的问题。《机电系统多领域集成设计》从应用角度出发，聚焦于目前机电系统

本书主要介绍经典控制理论的基本内容，涉及控制系统的基本原理、分析方法、设计校正及应用实例等。本书共分5章，主要内容包括反馈控制的基本概念、控制系统的数学模型、控制系统时间响应、稳定性、稳态误差分析、频率特性分析、系统的综合与校正。本书旨在培养学生分析和解决复杂工程问题的能力，在理论分析的基础上，结合机械行业的工程实际，

本书围绕机电一体化系统的体系结构组织全书内容，内容全面，突出实用性、易学性。全书内容共分为六个学习项目。项目一为走进机电一体化，了解机电一体化的基本概念及其发展，机电一体化系统的组成及功能。项目二为机械机构的选用，学习机电一体化系统中机械部件的种类、选型及安装，包括典型的机械传动机构和导向支承机构的结构特点等问题。项目

"教材以培养应用型、创新型高素质技术技能人才为目标，参照相关国家职业标准及有关行业职业技能等级认定规范编写的，结合职业院校机电专业学生的学情和学习特点，以工业自动控制中典型项目为载体，采用项目化课程模式编写，每个项目分成若干个任务。“任务引领、项目驱动”的教学方法贯穿于教学全过程。全书涵盖了机械制造技术、传感器检测技术

《机电控制技术（第二版）》以电机为核心，以控制为主线，将机电系统有机结合起来，全面系统地阐述机电系统的控制问题，研究和分析机电系统的特性、控制原理、控制系统设计方法。内容涵盖机电系统传动力学、电机的原理与特性、基本控制原理和技术。《机电控制技术（第二版）》共10章，内容包括：机电控制技术概述、机电系统传动力学、直流电机

本书从工程实际应用角度出发，对机电一体化系统设计、安装与调试中所涉及到的PLC、传感器、伺服驱动、现场总线及工业组态等相关技术的应用进行认知性介绍。