阮勇、尤政编著的《硅MEMS工艺与设备基础/MEMS与微系统系列/微米纳米技术丛书》在第1章首先介绍MEMS器件的硅MEMS基本工艺、器件和新材料，在此基础上，第2章阐述MEMS工艺设计规则与工艺误差，第3章至第8章阐述硅MEMS单项工艺，介绍相关工艺原理与典型设备，第9章分析列举了典型的硅MEMS器件结构的工艺制备，第10章和第11章介绍圆片键合和封装技术，第12章围绕工艺中的参数讨论了检测技术，附录部分对于真空技术、相关药品与安全防护进行总结。本书详细介绍了硅MEMS器件所需的工艺与设备，能

《微特电机》系统地介绍了各种微特电机运行原理、性能特点和设计方法等内容。全书共分三篇：上篇介绍通用基础理论，分别从电磁理论基础、磁路分析与永磁磁路、交流绕组基础、损耗与发热、振动、噪声与电磁兼容、电机常用分析方法等方面进行详细讲述；中篇介绍伺服与控制电机，从电气伺服驱动系统的共性问题出发，主要讲述了永磁直流电动机、永磁交流伺服电动机、感应伺服电动机、开关磁阻电机、步进电动机和传感器等；下篇介绍驱动与特种电机，主要讲述同步电机、单相电机、交直流两用电动机、直线电机、磁滞电动机、超声波电机等。本书内