本书内容包括：薄膜光学特性的理论计算，常见介质膜系及其设计，真空镀膜技术，常见光学薄膜材料，光学薄膜的结构与特性，光学薄膜特性检测技术，光学功能薄膜的应用研究。全书内容翔实，概念清楚，层次分明，实用性强，可供光学薄膜和其他薄膜领域研究人员、技术人员、各类从业人员参考，也可供薄膜元件的应用者或其他相关人员参考。

本书重点介绍了作者课题组近几年来在国家自然科学基金、国防预研基金、重点实验室基金等一系列基础研究项目的支持下，在物理气相沉积硬质薄膜强韧化方法、理论、表征及强韧化薄膜应用领域的研究成果。主要论述了如何制备和表征具有强、韧性能的薄膜，包括薄膜的制备方法，薄膜强化技术，薄膜韧化技术，薄膜的强韧性能表征，薄膜内应力，强韧化薄膜实例。