《微机电系统设计及应用探究》一书中讲述的微机电系统涉及多学科交叉,具有能够在狭小空间内进行作业而又不扰乱工作环境的特点,有着广泛的应用前景。本书结合当前微机电系统的科学研究,对微机电系统原理和设计、微细加工技术、相关的检测技术以及微机电系统的应用等内容进行了介绍,使读者对微机电系统的设计与制造有一个比较完整的了解,为开展微机电系统的研究奠定必要的基础。

阮勇、尤政编著的《硅MEMS工艺与设备基础/MEMS与微系统系列/微米纳米技术丛书》在第1章首先介绍MEMS器件的硅MEMS基本工艺、器件和新材料，在此基础上，第2章阐述MEMS工艺设计规则与工艺误差，第3章至第8章阐述硅MEMS单项工艺，介绍相关工艺原理与典型设备，第9章分析列举了典型的硅MEMS器件结构的工艺制备，第10章和第11章介绍圆片键合和封装技术，第12章围绕工艺中的参数讨论了检测技术，附录部分对于真空技术、相关药品与安全防护进行总结。本书详细介绍了硅MEMS器件所需的工艺与设备，能

相对于人们对涉及的非传统物理的理解，MEMS技术发展得非常快。只有深刻掌握其基本原理，才能促进MEMS技术的提高，才有可能进行微机电系统的设计和制造，并让其在现有的和设想的各个领域广泛应用。本书是MEMS手册中的基础部分，提供有关MEMS理论和技术基础的文献和参考。书中除了介绍MEMS在微小尺度方面的物理学、流体力学、力学、光学、电、润滑，还包含了控制理论、分布式控制及软计算的内容。这些内容涉及未来应用的各种重要基础知识，将其应用于微传感器和微执行器能够实现节约能源的有效控制并提高人工装置性能。

《微特电机》系统地介绍了各种微特电机运行原理、性能特点和设计方法等内容。全书共分三篇：上篇介绍通用基础理论，分别从电磁理论基础、磁路分析与永磁磁路、交流绕组基础、损耗与发热、振动、噪声与电磁兼容、电机常用分析方法等方面进行详细讲述；中篇介绍伺服与控制电机，从电气伺服驱动系统的共性问题出发，主要讲述了永磁直流电动机、永磁交流伺服电动机、感应伺服电动机、开关磁阻电机、步进电动机和传感器等；下篇介绍驱动与特种电机，主要讲述同步电机、单相电机、交直流两用电动机、直线电机、磁滞电动机、超声波电机等。本书内