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本书详细介绍了硅基微传感系统和非硅基微传感系统的设计、性能、制备、特征、表征以及测试和应用,并对微传感系统相关的微纳加工技术做了简要介绍。本书适宜从事传感系统设计以及机械、材料等相关专业人士参考。

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工业机器人编程与应用