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在“新工科”建设背景下，面向电子科学与技术人员培养的“电子技术基础”课程教学的重要性日益凸显，同时也迎来了新的挑战。本书是面向应用电子技术专业的入门教材，循序渐进地介绍了常用电子仪表的使用、常用基本元器件的使用、电路识图与仿真的应用、电路制作和PCB设计软件使用等电子技术的基础知识、技能、方法和规范，基于立创EDA的P

本书不仅介绍了半导体器件中所涉及材料的刻蚀工艺，而且对每种材料的关键刻蚀参数、对应的等离子体源和刻蚀气体化学物质进行了详细解释。本书讨论了具体器件制造流程中涉及的干法刻蚀技术，介绍了半导体厂商实际使用的刻蚀设备的类型和等离子体产生机理，例如电容耦合型等离子体、磁控反应离子刻蚀、电子回旋共振等离子体和电感耦合型等离子体，